Главная » 2014»Июнь»23 » Скачать Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний. Соломкин, Федор Юрьевич бесплатно
5:47 PM
Скачать Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний. Соломкин, Федор Юрьевич бесплатно
Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний
Автореферат
Автор: Соломкин, Федор Юрьевич
Название: Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний
Справка: Соломкин, Федор Юрьевич. Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний : автореферат дис. кандидата технических наук : 01.04.10 / Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе Санкт-Петербург, 1997 16 c. : 9 98-5/2681-5
9 98-5/2682-3