Главная » 2014»Август»3 » Скачать Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si. Фарафонов, Сергей Борисович бесплатно
5:15 AM
Скачать Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si. Фарафонов, Сергей Борисович бесплатно
Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si
Диссертация
Автор: Фарафонов, Сергей Борисович
Название: Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si
Справка: Фарафонов, Сергей Борисович. Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si : диссертация кандидата технических наук : 05.27.06 / Фарафонов Сергей Борисович; [Место защиты: Нац. исслед. технол. ун-т] Москва, 2011 213 c. : 61 12-5/287